NEYTRON BILAN LEGIRLANGAN KREMNIYDA MIS-KISLOROD PRECIPITATALARI

Abstract

Annotatsiya: Neytron bilan legirlangan kremniyda mis-kislorod precipitatalari mavzusi hozirgi yarimo‘tkazgich fizikasi va mikroelektronika rivojida dolzarb ilmiy muammolardan biri bo‘lib, ushbu sohaga oid tadqiqot va amaliy ishlar keng miqyosda olib borilmoqda. Neytron legirovkasi – kremniyning elektr xossalarini boshqarish, yadroviy nuqsonlar, domishlar va precipitatlarni tartibga solishda o‘ziga xos usul bo‘lib xizmat qiladi. Legirovka jarayonida kremniy kristall panjarasiga neytron yordamida begona elementlar, ayniqsa, kislorod va mis singdiriladi hamda ularning o‘zaro ta’siri, yangi fazalarning hosil bo‘lishi, precipitatlar shakllanishi, diffuziya va difraksiya fenomenlari chuqur o‘rganiladi.