MARGANES KIRISHMA ATOMLARINI GAZ HOLATDAN DIFFUZIYA QILIB KREMNIY SIRTIDA MARGANES OLIY SILITSIDLARINI HOSIL QILISH TEXNOLOGIYASI - Q.Q.Qurbonaliyev (Ta’lim innovatsiyasi va integratsiyasi, 2026)
Marganes kirishma atomlarini monokristall kremniyga diffuziyasi ikki xil usul asosida amalga oshirildi [78, 641-644-b; 79, 542-545-b; 80, 9-22-b] Birinchi diffuziya mexanizmida, marganes kirishma atomlari kremniy kristall panjarasida hosil bo‘lgan vakansiyalarda joylashgan boshqarib bo‘lmaydigan nuqsonlarni o‘rniga almashib o‘tirishi hisobiga (Frank – Turbim) bo‘lishi aniqlandi. Ikkinchi diffuziya mexanizmi, tugunlararo joylashgan kremniy atomlari bilan marganes kirishma atomlari o‘zaro ta’sirlashishi hisobiga amalga oshar ekan.