KREMNIY MONOKRISTALLARIDA MIS-KISLOROD NANOKRISTALLITLAR HOLATIGA VODORODNING TA’SIRI
Keywords:
Kalit so‘zlar: Kremniy monokristall, mis, kislorod, nanokristallit, vodorod, yarimo‘tkazgich, defekt, passivlashtirish, diffuziya, elektronika.Abstract
Annotatsiya: Kremniy zamonaviy elektronika sanoatining asosiy materiallaridan
biri hisoblanadi. Uning strukturasi, xossalari, tarkibidagi qo‘shimcha elementlar va
ularning faolligi, ayniqsa, yarimo‘tkazgichlar texnologiyasi uchun beqiyos ahamiyatga
ega. Kremniy monokristallarining sifatiga turli turdagi atomlarning, jumladan, mis va
kislorodning mavjudligi, ularning kristal panjaradagi o‘rni, shuningdek, uchinchi
element bo‘lib, vodorodning kirishi va natijada yuz beradigan jarayonlar katta ta’sir
o‘tkazadi.
References
Foydalanilgan adabiyotlar
1. Amanov J., Toshmatov B. (2008). "Yarim o‘tkazgich materiallar fizikasi". Fan va
texnologiya nashriyoti, Toshkent, 280-bet.
2. Fal’ko V.I., Korotkov R.Ya. (2015). "Fizika poluprovodnikov i
poluprovodnikovykh priborov", Universitetit nashriyoti, Moskva, 340-bet.
3. Sze S.M. (2001). "Physics of Semiconductor Devices". Wiley-Interscience, New
York, 832 pages.
4. Yakimov E.B. (2012). "Defekty v kremnii i ikh vzaimodeistvie s vodorodom",
Fizika tverdogo tela, Moskva, 54-tom, 5-son, 841–850-betlar.
5. Zhang Y., Wang C.L., Li M. (2017). "Hydrogen passivation of copper-oxygen
complexes in silicon crystals", Journal of Crystal Growth, Elsevier, 464-son, 120–
128-betlar.
6. Zhdan P.A., Zhdanova M.I. (2010). "Kremniy va kremniy asosidagi
yarimo‘tkazgichlar", O‘zbekiston Respublikasi Fanlar Akademiyasi nashriyoti,
Toshkent, 215-bet.
7. Войцеховский И. О. (2002). "Микродефекты в кремнии", Наука, Москва, 367
страниц.
