MARGANES KIRISHMA ATOMLARINI GAZ HOLATDAN DIFFUZIYA QILIB KREMNIY SIRTIDA MARGANES OLIY SILITSIDLARINI HOSIL QILISH TEXNOLOGIYASI
Abstract
Marganes kirishma atomlarini monokristall kremniyga diffuziyasi ikki xil usul
asosida amalga oshirildi [78, 641-644-b; 79, 542-545-b; 80, 9-22-b] Birinchi diffuziya
mexanizmida, marganes kirishma atomlari kremniy kristall panjarasida hosil bo‘lgan
vakansiyalarda joylashgan boshqarib bo‘lmaydigan nuqsonlarni o‘rniga almashib
o‘tirishi hisobiga (Frank – Turbim) bo‘lishi aniqlandi. Ikkinchi diffuziya mexanizmi,
tugunlararo joylashgan kremniy atomlari bilan marganes kirishma atomlari o‘zaro
ta’sirlashishi hisobiga amalga oshar ekan.
References
Foydalanilgan adabiyotlar
1. Zikrillaev N.F., Khusanov A.J., Kurbonaliev K.K. Properties of “Higher
Manganese Silicide-Silicon” Heterostructure // East European Journal of
Physics. 2023. Vol.3. pp. 291-295. (№3, Scopus. IF: 0.8, Q4;
https://www.scopus.com/sourceid/21101018929).
2. Зикриллаев Н.Ф., Турсунов О.Б., Шоабдурахимова М.М.,Курбоналиев
К.К. Фотоэлектрические свойства варизонных структур на основе
кремния с нанокластерами примесных атомов Zn и Se // Физика
полупроводников и микроэлектроника. 2020. том 2. вып. 2. С. 15-19.
(01.00.00. №16).
