Q.Q.Qurbonaliyev. (2026). MARGANES KIRISHMA ATOMLARINI GAZ HOLATDAN DIFFUZIYA QILIB KREMNIY SIRTIDA MARGANES OLIY SILITSIDLARINI HOSIL QILISH TEXNOLOGIYASI . Ta’lim Innovatsiyasi Va Integratsiyasi, 72(1), 353-357. https://journalss.org/index.php/tal/article/view/35736